甲烷,分子式为CH4,是一种有机化合物,常温常压下外观为无色气体状,纯净产品无气味。甲烷是最简单的有机物,属于烃类化合物,其含碳量最小、含氢量最大,在自然界中分布广泛,在石油气、煤气、沼气中均有存在。高纯甲烷是经提纯、精细加工得到的高纯气体,其纯度一般达到99.999%(5N)级别以上。
甲烷主要用于工业与民用领域,在工业领域作为化工原料,用来生产乙炔、合成氨、氢氰酸、炭黑、三氯甲烷、四氯化碳等产品,在民用领域用作燃料。与之不同,高纯甲烷应用领域主要是两大块,一是作为标准气、矫正气使用,用于仪器仪表、催化剂评价方面,用在工业检测(包括冶金、化工、石油、原子能、航空等行业)与科研领域,还可以配置特种混合气;二是应用在半导体、电子、太阳能电池产业中,用来制备非晶硅、晶体管、传感器等产品。
按照应用领域的不同来划分,高纯甲烷可以分为化工级高纯甲烷、电子级高纯甲烷两大类。随着科技进步,电子、光伏等产业发展迅速,高纯甲烷在干法蚀刻、等离子蚀刻、化学气相沉积等工艺中应用越来越广泛,可用来制备半导体材料、微电子器件、光电子器件等。目前,高纯甲烷已经成为电子产业的重要原材料之一,因此电子级高纯甲烷市场空间不断扩大,推动高纯甲烷行业技术不断进步,产品纯度不断提高。
甲烷制备工艺主要有沼气低温液化提取法、二氧化碳合成法、天然气提取法、石化尾气提取法等。甲烷中通常会含有多种杂质,例如氢气、、、、二氧化碳、乙烷等,需要进一步提纯。甲烷提纯工艺主要有二级精馏法制取、吸附膨胀脱附法、吸附间歇精馏法等,由于成分复杂,提取高纯甲烷的纯化处理过程繁杂,对企业实力有一定要求。但高纯甲烷产品附加值更高,有实力的企业正在不断加大布局力度。
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